特性项目 |
氧化铝(Al2O3) |
氧化锆(ZrO2) |
碳化硅(SiC) |
氮化硅(Si3N4) |
氮化铝(AlN) |
颜色 |
|
白 |
浅黄 |
白色 |
白+透明 |
白 |
黑 |
黑灰 |
灰 |
纯度 |
% |
96 |
99.5 |
99.7 |
99.99 |
3Y—TZP |
— |
— |
— |
用途 |
|
机械部件
电子部件 |
机械部件
耐热部件 |
耐腐蚀部件
半导体装置部件 |
耐腐蚀部件、半导体装置部件、模具 |
耐磨损部件
耐热部件 |
耐磨损部件、耐热部件、耐腐蚀部件 |
耐磨损部件、耐热部件、耐腐蚀部件 |
导热部件
半导体装置部件 |
密度 |
Kg/m3×103 |
3.7 |
3.9 |
3.93 |
3.97 |
6 |
3.2 |
3.25 |
3.4 |
吸水率 |
% |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
HV硬度 |
GPa |
3.7 |
17 |
18 |
21 |
13.2 |
22 |
16 |
10.2 |
抗弯强度 |
MPa |
350 |
370 |
390 |
390 |
1200 |
400 |
700 |
310 |
抗压强度 |
MPa |
310 |
2350 |
2300 |
200 |
3500 |
— |
3800 |
— |
弹性模量 |
GPa |
320 |
370 |
375 |
380 |
200 |
430 |
290 |
320 |
泊松比 |
— |
0.23 |
0.23 |
0.25 |
0.25 |
0.31 |
0.16 |
0.28 |
0.24 |
断裂韧性 |
Mpa/m |
4 |
4 |
4 |
4 |
7 |
4 |
5 |
— |
热膨胀系数 |
×10-6/℃ |
7.2 |
7.2 |
7 |
7 |
10 |
3.7 |
2.6 |
4.6 |
热传导率 |
W/(m·K) |
24 |
32 |
33 |
34 |
3 |
60 |
20 |
150 |
最高工作温度 |
℃ |
500 |
1200 |
1600 |
1600 |
200 |
— |
— |
— |
耐热冲击 |
℃ |
200 |
250 |
200 |
200 |
200 |
400 |
550 |
600 |
介电强度 |
V/m×106 |
14 |
15 |
18 |
18 |
11 |
— |
— |
14 |
体积电阻率 |
Ω·cm(20℃)×1014 |
1 |
1 |
10 |
10 |
1 |
— |
1 |
100 |
介电常数 |
— |
9.4 |
9.9 |
9.7 |
9.9 |
33 |
— |
— |
8.6 |
介电损耗系数 |
×10-4 |
38 |
10 |
10.06 |
0.5 |
520 |
— |
— |
26 |
硝酸 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.014 |
0.07 |
0.15 |
0.04 |
0.1 |
0.02 |
0.05 |
— |
硫酸 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.034 |
0.25 |
0.04 |
0.09 |
0.5 |
0.009 |
0.2 |
— |
氢氧化铝 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.095 |
0.05 |
— |
0.03 |
1 |
0.01 |
0.3 |
|
|