| 特性项目 |
氧化铝（Al2O3） |
氧化锆（ZrO2） |
碳化硅（SiC） |
氮化硅（Si3N4） |
氮化铝（AlN） |
| 颜色 |
|
白 |
浅黄 |
白色 |
白+透明 |
白 |
黑 |
黑灰 |
灰 |
| 纯度 |
% |
96 |
99.5 |
99.7 |
99.99 |
3Y—TZP |
— |
— |
— |
| 用途 |
|
机械部件
电子部件 |
机械部件
耐热部件 |
耐腐蚀部件
半导体装置部件 |
耐腐蚀部件、半导体装置部件、模具 |
耐磨损部件
耐热部件 |
耐磨损部件、耐热部件、耐腐蚀部件 |
耐磨损部件、耐热部件、耐腐蚀部件 |
导热部件
半导体装置部件 |
| 密度 |
Kg/m3×103 |
3.7 |
3.9 |
3.93 |
3.97 |
6 |
3.2 |
3.25 |
3.4 |
| 吸水率 |
% |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
| HV硬度 |
GPa |
3.7 |
17 |
18 |
21 |
13.2 |
22 |
16 |
10.2 |
| 抗弯强度 |
MPa |
350 |
370 |
390 |
390 |
1200 |
400 |
700 |
310 |
| 抗压强度 |
MPa |
310 |
2350 |
2300 |
200 |
3500 |
— |
3800 |
— |
| 弹性模量 |
GPa |
320 |
370 |
375 |
380 |
200 |
430 |
290 |
320 |
| 泊松比 |
— |
0.23 |
0.23 |
0.25 |
0.25 |
0.31 |
0.16 |
0.28 |
0.24 |
| 断裂韧性 |
Mpa/m |
4 |
4 |
4 |
4 |
7 |
4 |
5 |
— |
| 热膨胀系数 |
×10-6/℃ |
7.2 |
7.2 |
7 |
7 |
10 |
3.7 |
2.6 |
4.6 |
| 热传导率 |
W/（m·K） |
24 |
32 |
33 |
34 |
3 |
60 |
20 |
150 |
| 最高工作温度 |
℃ |
500 |
1200 |
1600 |
1600 |
200 |
— |
— |
— |
| 耐热冲击 |
℃ |
200 |
250 |
200 |
200 |
200 |
400 |
550 |
600 |
| 介电强度 |
V/m×106 |
14 |
15 |
18 |
18 |
11 |
— |
— |
14 |
| 体积电阻率 |
Ω·cm（20℃）×1014 |
1 |
1 |
10 |
10 |
1 |
— |
1 |
100 |
| 介电常数 |
— |
9.4 |
9.9 |
9.7 |
9.9 |
33 |
— |
— |
8.6 |
| 介电损耗系数 |
×10-4 |
38 |
10 |
10.06 |
0.5 |
520 |
— |
— |
26 |
| 硝酸 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.014 |
0.07 |
0.15 |
0.04 |
0.1 |
0.02 |
0.05 |
— |
| 硫酸 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.034 |
0.25 |
0.04 |
0.09 |
0.5 |
0.009 |
0.2 |
— |
| 氢氧化铝 |
Wt Loss mg/cm2/D |
0.095 |
0.05 |
— |
0.03 |
1 |
0.01 |
0.3 |
|
|
